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真空泵是怎样抽取真空的

2023-01-15

真空泵是通过多种不同的方式来保证一定范围内的真空性的气体运输泵,不同的真空泵其运行原理也不同,但主要都是利用大气压强来进行工作,真空泵根据抽气和吸气又被分为了气体捕集泵和气体传输泵,我们经常性使用的用来输送气体类介质的罗茨泵就是真空泵的一种,而一般抽取真空技术分为机械法和物理法,机械法抽取真空的泵多为变容真空泵和动量传输泵、物理法多为吸附泵、吸气剂泵等

真空泵是怎样抽取真空的

机械法抽取真空

1.动量传输泵,它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类

2.变容真空泵,是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的。这种泵分往复式、旋转式两种

水环式真空泵

物理法抽取真空

气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵,有以下几种形式:

1.吸气剂离子泵。它是使被电离的气体通过电场或电磁场的作用吸附在吸气材料的表面上,以达到抽气的目的,通常表现为蒸发离子泵和溅射离子泵

2.吸气剂泵。它是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金

3.吸附泵。依靠具有大表面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

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