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涡轮分子泵是怎样进行工作的

2022-12-28

涡轮分子泵是真空泵的一种,主要通过高速旋转的叶轮将动量传给气体分子,使得气体产生定向流动然后抽气,本身工作起来启动很快,而且没有蒸汽污染或者很少的污染,可以制造清洁的超高真空,主要是由泵体、动叶轮、静叶轮和驱动系统等构成,一般在我们生活中比不算常见,通常我们称其必须在分子流状态下进行工作,而且必须有着接近气体分子速度接近的线速度,接下来我们先来给大家讲解涡轮分子泵是怎样运作的

涡轮分子泵的工作原理

依靠高速旋转的叶片或者高速射流将动量传输给气体或者气体分子,使得气体连续不断的从泵的入口传输到出口,涡轮分子泵属于分子真空泵的一种,泵内装有带槽的圆盘或者带叶片的转子,在定子圆盘之间旋转,转子圆周的线速度很高,这种泵通常在分子流状态下进行工作

涡轮分子泵的工作条件

1.必须在分子流状态下工作

当容器的容积内,含有气体的压力不断的降低的时候,气体分子平均自由程会随之增加,常压下,空气分子的平均自由程是非常小的,只有0.06pm,也就是说一个气体分子平均看的话,在空间运动0.06um的间隙时,就会和第二个相遇,如果处于1.3pa的时候,分子与分子之间的自由程能够达到4.4m,当器壁因为不动定子叶片与运动着的转子叶片组成时,回味定向运动打下基础

2.必须有着与气体分子速度接近的线速度

涡轮分子泵的转子叶片,需要与气体分子速度接近的时候,才可以在相碰之后,做定向运动,此时它才可以更好的工作,效率可以大大的提升

3.转速越高分子泵的抽速更有利

涡轮分子泵的转速提升的同时,对于它的抽速会有正确的引导,不同分子量的气体分子速度越大,泵的抽取就会越发的困难

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